سلام دوستان
در فرایند بعد از کاشت یون در بستر سلیکیانی مرحله ای به نام ترمیم حرارتی یا بازپخت (Anneal Processing) مقاله یا مطلبی وجود دارد؟ خیلی سرچ کردم اما نتونستم مطلبی عمقی پیدا کنم.
متشکر