سلام
البته بحث میکرو و نانوالکترونیک امروزه فراتر از مدارهای مجتمع است ولی جای مناسب دیگری برای این مطلب پیدا نکردم:


1. کتاب اصول نانوتکنولوژی و سیستمآ*های میکروالکترومکانیکی

شامل مباحث : مقدمه ای بر نانوتکنولوژی، نانوتکنولوژی ملکولی، نانومواد، کربن، نانوبیوتکنولوژی، اپتیک و فتونیک، نانوالکترونیک، سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)، مواد کاربردی در تکنولوژی میکروالکترونیک، مواد کاربری در تکنولوژی میکروماشین کاری، تکنولوژی میکروالکترونیک، میکروماشین کاری، میکروسنسورها، معرفی قطعات SAW.

تاریخ انتشار کتاب 1386 و کمی قدیمی است ولی برای یک آشنایی جامع با نانوفناوری و نانوالکترونیک بسیار مناسب است.

http://www.nanosun.ir/shp/item/detail/%DA%A9%D8%AA%D8%A7%D8%A8-%D8%A7%D8%B5%D9%88%D9%84-%D9%86%D8%A7%D9%86%D9%88%D8%AA%DA%A9%D9%86%D9%88%D 9%84%D9%88%DA%98%DB%8C-%D9%88-%D8%B3%DB%8C%D8%B3%D8%AA%D9%85%E2%80%8C%D9%87%D8%A 7%DB%8C-%D9%85%DB%8C%DA%A9%D8%B1%D9%88-%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%85%DA%A9%D 8%A7%D9%86%DB%8C%DA%A9%DB%8C/20/Fa.aspx

2. مقدمه ای بر طراحی فیزیکی مدارهای مجتمع

برای آشنایی با صنعت نیمه هادی و مدارهای مجتمع به ویژه ی فناوری CMOS و روند طراحی، شبیه سازی و همچنین فرآیندهای ساخت آن.

http://www.adinehbook.com/gp/product/6009395002

3. کتاب نانوالکترونیک به زبان ساده

http://www.nanosun.ir/shp/item/detail/%D9%83%D8%AA%D8%A7%D8%A8-%D9%86%D8%A7%D9%86%D9%88%D8%A7%D9%84%D9%83%D8%AA%D 8%B1%D9%88%D9%86%D9%8A%D9%83-%D8%A8%D9%87-%D8%B2%D8%A8%D8%A7%D9%86-%D8%B3%D8%A7%D8%AF%D9%87/156/Fa.aspx