خبرگزاري دانشجويان ايران - تهران
سرويس: فناوري استراتژيك

با عبور صنعت نيمهآ*هاديآ*ها از فنآ*آوري آ*٦٥ نانومتر و كنترل برخي فرآيندها در توليد دستگاهآ*ها، قابليت بزرگنمايي ميكروسكوپ روبش الكتروني (SEM) افزايش ميآ*يابد.

به گزارش سرويس «فنآ*آوري» خبرگزاري دانشجويان ايران (ايسنا)، ميكروسكوپآ*هاي الكتروني SEM و TEM متناوباً بزرگنمايي بالايي را فراهم آ*كنند، اما در اين ميان توليدكنندگان اصرار به استفاده از SEM دارند، زيرا استفاده از TEM نيازمند طي مراحل سخت آمادهآ*سازي نمونه است؛ البته دسترسي به بزرگنمايي بيشتر نيازمند كسب اطلاعات سه بعدي بيشتر است كه در نهايت موجب پيچيدگي بيشتر دستگاه ميآ*شود.

سيستمآ*هاي دو شعاعي، تركيبي از شعاع يون متمركز (FIB) و SEM است كه FIB براي عبور از بخشآ*ها و SEM براي تصويربرداري ميآ*باشد. اين سيستم جهت دسترسي به يك فضاي سه بعدي مورد استفاده قرار ميآ*گيرد.

اكنون نمونهآ*اي از TEM داراي FIB ساخته شده است كه نويد يك فنآ*آوري كارا و مهم را براي جايگزيني SEM با TEM/S ميآ*دهد كه در كنترل فرآيند نيمهآ*هاديآ*ها و فرآيند تشخيص عوامل شكست تأثيرگذار است.

عوامل زيادي در تغيير سيستم از فضاي عبور به TEM دخالت دارند.

بيشتر فرآيندها حتي در گرهآ*هاي آ*٦٥ نانومتري جهت كنترل مطلوب، نيازمند به كارگيري TEM هستند. اكثريت فرآيندها در فضاي انتقال نمودار قرار دارند و عدهآ*اي نيز در فضايي قرار دارند كه فقط TEM توانايي عملكرد مناسب را برايشان داراست.

عبارت «وقت طلاست» براي كمتر صنعتي به اندازه صنعت توليد نيمهآ*هاديآ*ها مصداق دارد.

در اين صنعت فرآيندها به صورت خودكار و كاملاً پيچيده هستند.

تأخير و درنگ در هر نقطه از فرآيند مستقيماً به معناي كاهش فايده بخشي است. قضيه زماني وخيمآ*تر ميآ*شود كه ميليونآ*ها دلار سرمايه خطرپذير جهت يك فرآيند جديد و فوقآ*العاده، لازم ميآ*باشد.

در اين ميان هر چيزي كه باعث تبديل فرآيندها به يك محصول كامل شود ارزشمند قلمداد ميآ*شود؛ بنابر اين عاملي كه باعث شود توليدكنندگان دست از استفاده از SEM به عنوان وسيلهآ*اي سريع كه ميآ*تواند در چند دقيقه جوابگو باشد بردارند و مجبور به استفاده از TEM، وسيلهآ*اي كه به طور معمول براي پاسخگويي نيازمند چند روز وقت است شوند زياد خوشايند نيست.

پيشنهاد آمادهآ*سازي نمونه مبتنيآ* بر FIB هم از نظر زماني و هم اقتصادي مقرون به صرفه است. اين ابزار كاملاً پيچيده قادر است اولين نتايج را در كمتر از دو ساعت و چندين نمونه را به طور همزمان در يك ساعت آماده كند.

هر چند ساخت يك نمونه اوليه از اين دستگاه به طور كامل نيازمند صرف ميليونآ*ها دلار سرمايهآ*گذاري بود و مجموع هزينهآ*ها براي هر آزمايش كمتر از آ*٤٠٠ دلار به همراه خواهد داشت. اين در حالي است كه هزينه آناليز براي هر بار آزمايش SEM بين آ*١٥٠ تا آ*٢٠٠ دلار است.

به گزارش ايسنا از ستاد ويژه توسعه فنآ*آوري نانو، يكي از مهمترين فوايد اقتصادي آمادهآ*سازي نمونه مبتني بر FIB، امكان استخراج يك قطعه نمونه ويژه از يك ويفر و بازگرداندن دوباره ويفر به فرآيند است. در توسعه و يكپارچهآ*سازي فرآيند، اين قابليت براي هر مرحله فرآيند حذف ميآ*شود. در توليد، اين حذف باعث كاهش هزاران دلار هزينهآ* جهت انجام يك آزمايش انجام ميآ*شود.

در معادله زمان و پول، در توليد نيمهآ*هاديآ*ها دو چرخه زماني بسيار حياتي توسعه و كنترل فرآيند وجود دارد.

اولي زمان مورد نياز جهت توسعه يك فرآيند جديد يا راهآ*اندازي چرخه توليد يك محصول را مشخص ميآ*كند.

چرخهآ*هاي سريعآ*تر كه باعث انتقال سريع محصول به بازار ميآ*شوند باعث جلوگيري از افزايش قيمت شده و سود را نيز افزايش ميآ*دهد.

زماني كه يك محصول به طور عمده و در حجم بالا توليد ميآ*شود قابليت سوددهي آن از محصول فرآيند قابل تشخيص است. كنترل فرآيند به دنبال نگه داشتن محصول در بيشترين مقدار توليد خود است.

زماني كه عاملي باعث كاهش كنترل فرآيند شود چرخه بازخورد به كمك سوددهي آمده و با تشخيص سريع گردش محصول، ريشه عامل تسريع كننده را تشخيص ميآ*دهد در نتيجه طول چرخه كاهش يافته و تأثير آن بر ميانگين توليد كم ميآ*شود


منبع:http://news.parseek.com/Url/?id=1101863