خبرگزاری دانشجویان ایران - تهران
سرویس: فناوری استراتژیک
با عبور صنعت نیمهآهادیآها از فنآآوری آ٦٥ نانومتر و کنترل برخی فرآیندها در تولید دستگاهآها، قابلیت بزرگنمایی میکروسکوپ روبش الکترونی (SEM) افزایش میآیابد.
به گزارش سرویس «فنآآوری» خبرگزاری دانشجویان ایران (ایسنا)، میکروسکوپآهای الکترونی SEM و TEM متناوباً بزرگنمایی بالایی را فراهم آکنند، اما در این میان تولیدکنندگان اصرار به استفاده از SEM دارند، زیرا استفاده از TEM نیازمند طی مراحل سخت آمادهآسازی نمونه است؛ البته دسترسی به بزرگنمایی بیشتر نیازمند کسب اطلاعات سه بعدی بیشتر است که در نهایت موجب پیچیدگی بیشتر دستگاه میآشود.
سیستمآهای دو شعاعی، ترکیبی از شعاع یون متمرکز (FIB) و SEM است که FIB برای عبور از بخشآها و SEM برای تصویربرداری میآباشد. این سیستم جهت دسترسی به یک فضای سه بعدی مورد استفاده قرار میآگیرد.
اکنون نمونهآای از TEM دارای FIB ساخته شده است که نوید یک فنآآوری کارا و مهم را برای جایگزینی SEM با TEM/S میآدهد که در کنترل فرآیند نیمهآهادیآها و فرآیند تشخیص عوامل شکست تأثیرگذار است.
عوامل زیادی در تغییر سیستم از فضای عبور به TEM دخالت دارند.
بیشتر فرآیندها حتی در گرهآهای آ٦٥ نانومتری جهت کنترل مطلوب، نیازمند به کارگیری TEM هستند. اکثریت فرآیندها در فضای انتقال نمودار قرار دارند و عدهآای نیز در فضایی قرار دارند که فقط TEM توانایی عملکرد مناسب را برایشان داراست.
عبارت «وقت طلاست» برای کمتر صنعتی به اندازه صنعت تولید نیمهآهادیآها مصداق دارد.
در این صنعت فرآیندها به صورت خودکار و کاملاً پیچیده هستند.
تأخیر و درنگ در هر نقطه از فرآیند مستقیماً به معنای کاهش فایده بخشی است. قضیه زمانی وخیمآتر میآشود که میلیونآها دلار سرمایه خطرپذیر جهت یک فرآیند جدید و فوقآالعاده، لازم میآباشد.
در این میان هر چیزی که باعث تبدیل فرآیندها به یک محصول کامل شود ارزشمند قلمداد میآشود؛ بنابر این عاملی که باعث شود تولیدکنندگان دست از استفاده از SEM به عنوان وسیلهآای سریع که میآتواند در چند دقیقه جوابگو باشد بردارند و مجبور به استفاده از TEM، وسیلهآای که به طور معمول برای پاسخگویی نیازمند چند روز وقت است شوند زیاد خوشایند نیست.
پیشنهاد آمادهآسازی نمونه مبتنیآ بر FIB هم از نظر زمانی و هم اقتصادی مقرون به صرفه است. این ابزار کاملاً پیچیده قادر است اولین نتایج را در کمتر از دو ساعت و چندین نمونه را به طور همزمان در یک ساعت آماده کند.
هر چند ساخت یک نمونه اولیه از این دستگاه به طور کامل نیازمند صرف میلیونآها دلار سرمایهآگذاری بود و مجموع هزینهآها برای هر آزمایش کمتر از آ٤٠٠ دلار به همراه خواهد داشت. این در حالی است که هزینه آنالیز برای هر بار آزمایش SEM بین آ١٥٠ تا آ٢٠٠ دلار است.
به گزارش ایسنا از ستاد ویژه توسعه فنآآوری نانو، یکی از مهمترین فواید اقتصادی آمادهآسازی نمونه مبتنی بر FIB، امکان استخراج یک قطعه نمونه ویژه از یک ویفر و بازگرداندن دوباره ویفر به فرآیند است. در توسعه و یکپارچهآسازی فرآیند، این قابلیت برای هر مرحله فرآیند حذف میآشود. در تولید، این حذف باعث کاهش هزاران دلار هزینهآ جهت انجام یک آزمایش انجام میآشود.
در معادله زمان و پول، در تولید نیمهآهادیآها دو چرخه زمانی بسیار حیاتی توسعه و کنترل فرآیند وجود دارد.
اولی زمان مورد نیاز جهت توسعه یک فرآیند جدید یا راهآاندازی چرخه تولید یک محصول را مشخص میآکند.
چرخهآهای سریعآتر که باعث انتقال سریع محصول به بازار میآشوند باعث جلوگیری از افزایش قیمت شده و سود را نیز افزایش میآدهد.
زمانی که یک محصول به طور عمده و در حجم بالا تولید میآشود قابلیت سوددهی آن از محصول فرآیند قابل تشخیص است. کنترل فرآیند به دنبال نگه داشتن محصول در بیشترین مقدار تولید خود است.
زمانی که عاملی باعث کاهش کنترل فرآیند شود چرخه بازخورد به کمک سوددهی آمده و با تشخیص سریع گردش محصول، ریشه عامل تسریع کننده را تشخیص میآدهد در نتیجه طول چرخه کاهش یافته و تأثیر آن بر میانگین تولید کم میآشود
منبع:http://news.parseek.com/Url/?id=1101863
سرویس: فناوری استراتژیک
با عبور صنعت نیمهآهادیآها از فنآآوری آ٦٥ نانومتر و کنترل برخی فرآیندها در تولید دستگاهآها، قابلیت بزرگنمایی میکروسکوپ روبش الکترونی (SEM) افزایش میآیابد.
به گزارش سرویس «فنآآوری» خبرگزاری دانشجویان ایران (ایسنا)، میکروسکوپآهای الکترونی SEM و TEM متناوباً بزرگنمایی بالایی را فراهم آکنند، اما در این میان تولیدکنندگان اصرار به استفاده از SEM دارند، زیرا استفاده از TEM نیازمند طی مراحل سخت آمادهآسازی نمونه است؛ البته دسترسی به بزرگنمایی بیشتر نیازمند کسب اطلاعات سه بعدی بیشتر است که در نهایت موجب پیچیدگی بیشتر دستگاه میآشود.
سیستمآهای دو شعاعی، ترکیبی از شعاع یون متمرکز (FIB) و SEM است که FIB برای عبور از بخشآها و SEM برای تصویربرداری میآباشد. این سیستم جهت دسترسی به یک فضای سه بعدی مورد استفاده قرار میآگیرد.
اکنون نمونهآای از TEM دارای FIB ساخته شده است که نوید یک فنآآوری کارا و مهم را برای جایگزینی SEM با TEM/S میآدهد که در کنترل فرآیند نیمهآهادیآها و فرآیند تشخیص عوامل شکست تأثیرگذار است.
عوامل زیادی در تغییر سیستم از فضای عبور به TEM دخالت دارند.
بیشتر فرآیندها حتی در گرهآهای آ٦٥ نانومتری جهت کنترل مطلوب، نیازمند به کارگیری TEM هستند. اکثریت فرآیندها در فضای انتقال نمودار قرار دارند و عدهآای نیز در فضایی قرار دارند که فقط TEM توانایی عملکرد مناسب را برایشان داراست.
عبارت «وقت طلاست» برای کمتر صنعتی به اندازه صنعت تولید نیمهآهادیآها مصداق دارد.
در این صنعت فرآیندها به صورت خودکار و کاملاً پیچیده هستند.
تأخیر و درنگ در هر نقطه از فرآیند مستقیماً به معنای کاهش فایده بخشی است. قضیه زمانی وخیمآتر میآشود که میلیونآها دلار سرمایه خطرپذیر جهت یک فرآیند جدید و فوقآالعاده، لازم میآباشد.
در این میان هر چیزی که باعث تبدیل فرآیندها به یک محصول کامل شود ارزشمند قلمداد میآشود؛ بنابر این عاملی که باعث شود تولیدکنندگان دست از استفاده از SEM به عنوان وسیلهآای سریع که میآتواند در چند دقیقه جوابگو باشد بردارند و مجبور به استفاده از TEM، وسیلهآای که به طور معمول برای پاسخگویی نیازمند چند روز وقت است شوند زیاد خوشایند نیست.
پیشنهاد آمادهآسازی نمونه مبتنیآ بر FIB هم از نظر زمانی و هم اقتصادی مقرون به صرفه است. این ابزار کاملاً پیچیده قادر است اولین نتایج را در کمتر از دو ساعت و چندین نمونه را به طور همزمان در یک ساعت آماده کند.
هر چند ساخت یک نمونه اولیه از این دستگاه به طور کامل نیازمند صرف میلیونآها دلار سرمایهآگذاری بود و مجموع هزینهآها برای هر آزمایش کمتر از آ٤٠٠ دلار به همراه خواهد داشت. این در حالی است که هزینه آنالیز برای هر بار آزمایش SEM بین آ١٥٠ تا آ٢٠٠ دلار است.
به گزارش ایسنا از ستاد ویژه توسعه فنآآوری نانو، یکی از مهمترین فواید اقتصادی آمادهآسازی نمونه مبتنی بر FIB، امکان استخراج یک قطعه نمونه ویژه از یک ویفر و بازگرداندن دوباره ویفر به فرآیند است. در توسعه و یکپارچهآسازی فرآیند، این قابلیت برای هر مرحله فرآیند حذف میآشود. در تولید، این حذف باعث کاهش هزاران دلار هزینهآ جهت انجام یک آزمایش انجام میآشود.
در معادله زمان و پول، در تولید نیمهآهادیآها دو چرخه زمانی بسیار حیاتی توسعه و کنترل فرآیند وجود دارد.
اولی زمان مورد نیاز جهت توسعه یک فرآیند جدید یا راهآاندازی چرخه تولید یک محصول را مشخص میآکند.
چرخهآهای سریعآتر که باعث انتقال سریع محصول به بازار میآشوند باعث جلوگیری از افزایش قیمت شده و سود را نیز افزایش میآدهد.
زمانی که یک محصول به طور عمده و در حجم بالا تولید میآشود قابلیت سوددهی آن از محصول فرآیند قابل تشخیص است. کنترل فرآیند به دنبال نگه داشتن محصول در بیشترین مقدار تولید خود است.
زمانی که عاملی باعث کاهش کنترل فرآیند شود چرخه بازخورد به کمک سوددهی آمده و با تشخیص سریع گردش محصول، ریشه عامل تسریع کننده را تشخیص میآدهد در نتیجه طول چرخه کاهش یافته و تأثیر آن بر میانگین تولید کم میآشود
منبع:http://news.parseek.com/Url/?id=1101863
